退火爐 是在半導(dǎo)體器件制造中運(yùn)用的一種工藝，其包含加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電功能。熱處理是針對(duì)差異的功效而設(shè)計(jì)的。不妨加熱晶片以激活混雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉淀的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的形態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)混雜劑或?qū)⒒祀s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。那么退火爐的熱源分為哪幾個(gè)類型呢?下面是中門子小編總結(jié)出了以下幾點(diǎn)：

        退火爐 不妨集成到其余爐子處理步調(diào)中，例如氧化，或許不妨自身處理。退火爐是由特意為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完畢的。退火爐是節(jié)能型周期式功課爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，選用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

        退火爐按熱源分類重點(diǎn)有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，當(dāng)中以自備煤氣產(chǎn)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐使用最平凡。煤氣退火窯減去了焚燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室放射焚燒。為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱體系，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

        蘇州中門子科技有限公司是一家專門從事研發(fā)、制造各類熱處理裝備的高新技術(shù)企業(yè)，致力于為客戶提供各種材料加熱、熱處理工藝解決方案。公司通過ISO9001英國(guó)BSI質(zhì)量認(rèn)證體。2006年至今連續(xù) 10余年江蘇省高薪技術(shù)企業(yè)、江蘇省特種工業(yè)爐窯工程技術(shù)中心，擁有發(fā)明專利30項(xiàng)、實(shí)用新型專利30項(xiàng)。咨詢熱線：0512-6299172